(1)抽气速率:真空泵的抽气速率也叫生产能力，在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走气体的体积，单位m3/S或m3/h表示。
(2)残余压力:也叫极限真空即真空泵能达到稳定状态下的最低压力，单位“Torr”或%表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。
(3)抽气量:在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走指定气体量叫抽气量，单位m3/h。
(4)起动压力:真空泵开始工作时的压力。
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